誘電体コート



誘電体膜のコーティングにより光学特性を与えます。
 
●用途  
 反射防止膜
 (シングルコート、マルチコート、
  Uコート、Vコート)

  反射膜
 ビームスプリッター
 ダイクロイックミラー
 偏光ビームスプリッター

   
●蒸着物質  
 SiO2(2酸化けい素)
 TiO2(2酸化チタン)
 HfO2(酸化ハフニウム)
 Ta2O5(5酸化タンタル)
 Al2O3(酸化アルミニウム)

 Cr2O3(酸化第2クロム)
 MgF2(ふっ化マグネシウム)
 MgO(酸化マグネシウム)
 ZrO2(酸化ジルコニウム)


 



薄膜形成装置

昭和真空社製薄膜形成装置
薄膜

ビームスプリッター、反射膜