薄膜パターン加工


金属膜や誘電体膜のパターン加工をします。
パターンの精度、形状、膜材質によりマスク治具、エッチング、リフトオフにて加工します。


●薄膜パターン加工材
　Au（金）
　Al（アルミ）
　Cr（クロム）
　Cr2O3（３酸化クロム）
　SiO2（２酸化けい素）
　TiO2（２酸化チタン）等